氣化過氧化氫是將35%的過氧化氫液體通過加熱至130℃生產蒸氣，氣相過氧化氫在空間中傳播。通過暴露后，用到一類活性曝氣機器設備將過氧化氫催化反應分解氧氣和水。此過氧化氫溶液廠家的氣化過氧化氫能夠對病菌胞子做到6-log的消除率，包含艱難梭菌和其它醫院比較常見病菌，如MRSA,VRE，鮑氏不動桿菌和病毒。氣化過氧化氫殺菌后，通過對表層抽樣表明其能夠消除艱難梭菌等醫院比較常見病菌的病原菌。
過氧化氫干霧用到5%濃度值的過氧化氫、50ppm的銀離子和50ppm正磷酸的混和溶劑，用壓力生產8-10微米的顆粒物。曝氣后，干霧存留在空間里被動分解。過氧化氫溶液廠家的過氧化氫干霧能夠做到4-log的艱難梭菌胞子消除率，無法充足消滅。過氧化氫干霧對醫院比較常見病菌的效果，如MRSA和鮑氏不動桿菌，現已獲得充足證明。但對結核桿菌的效果并未確定。生產機器設備不一樣：氣化過氧化氫要專門的氣化過氧化氫發生器；而霧化過氧化氫要專門的霧化過氧化氫發生器。
顆粒物大小不一樣：霧化過氧化氫是把過氧化氫液體霧化為小顆粒狀大小的液體，人眼由此可見，而氣化過氧化氫則是通過閃蒸技術氣化過氧化氫變成更小微顆粒物。消滅效果不一樣：一臺氣化過氧化氫發生器的消滅效果好于兩個霧化過氧化氫發生器，且節省時間。